фотолитография с уменьшением для изготовления фотошаблонов

mažinamoji kaukių fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced mask printing vok. Fotolithografie mit Bildverkleinerung für Maskenherstellung, f rus. фотолитография с уменьшением для изготовления фотошаблонов, f pranc. photolithographie de masque à réduction, f